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2021-03
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2021-03
大理石平台控制参数校准技术与需要维修
【一】、控制参数校准技术 光刻机工作台是多变量的控制系统,存在动力学模型非线性、各白由度强藕合的特点, 大理石平台 控制策略在工程实施过程中存在着不可避免的简化,导致
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2021-03
大理石平台扰动分析与补偿控制与工艺分析
一、扰动分析与补偿控制 扫描过程中,掩模台匀速段预期控制精度为其位置误差小于40nm,任何扰动因素都会对该精度产生严重影响, 大理石平台 需要对外部存在的干扰进行分析,并设
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2021-02
大理石平台的未来展望同位移机构
{一}、超机床的未来展望 超加工机床系统总的发展趋势是, 大理石平台 要求很高的加工表面质量和面形精度,加工尺寸趋于和小两个方向,同时要求复杂形面、不同材料的加工适应性