大理石平台扰动分析与补偿控制与工艺分析

<一>、扰动分析与补偿控制
扫描过程中，掩模台匀速段预期控制精度为其位置误差小于40nm，任何扰动因素都会对该精度产生严重影响，大理石平台需要对外部存在的干扰进行分析，并设计相应的前馈控制器进行补偿。主要包括：投影物镜振动前馈补偿、粗微台电磁耦合补偿、垂向对水平向的耦合补偿等。
1、投影物镜振动干扰与补偿
投影物镜通过机架支撑，具有质量大、重心高等特点，扫描运动所致的运动冲击易造成投影物镜产生振动，任何微小振动将造成曝光线条偏离严重，影响同步扫描的曝光精度，因此，需要对物镜振动所致干扰进行补偿，以掩模台与投影物镜的相对位置关系。
2、垂向运动对水平向运动耦合与补偿
工作台的微动台为空问6白由度运动，3个垂向直流电动机驱动凸轮单元支撑水平向洛伦兹电动机，实现垂向与水平向的控制分离。工作台在扫描曝光过程中，为补偿不同的硅片形貌误差，需要进行垂向的调平调焦运动，此运动将导致水平向洛伦兹电动机动、定了问隙发生变化，从而引起水平向驱动力产生角度倾斜。同时，垂向的调平调焦运动要求执行部件有较高的响应速度，随之而来的是运动可能造成的振动，从而导致垂向运动对水平向产生扰动。
对于此类扰动，采用垂向加速度前馈控制进行补偿，将垂向运动作为扰动力通过补偿模型引入控制器。
3、粗、微运动台电磁耦合与补偿
工作台粗、微运动依靠平面电动机的电磁耦合进行关联，扫描运动由主从控制模式实现，即微动台实现小行程、纳米级运动，粗动台大行程、微米级跟随，粗动台以逼近霍尔传感器的值为零跟随微动台运动。由于粗动台(直线电动机)白身结构所限，在跟随运动时会产生较大的推力波动，虽然该波动可以通过实测手段并结合PID中的积分环节予以测量和补偿，但由于粗、微运动精度存在量级上的差异，粗动台的运动误差仍然可以通过电磁耦合影响微动台的控制精度，需要设计补偿控制器此耦合扰动。
<二>、机械制造加工工艺分析
智能技术的发展，推动机械制造自动化水平的提升，也加大了机械零件制造质量与度的提升，的推动了机械制造行业的发展。然而，对机械制造工艺技术要求逐渐提升，使得传统机械制造工艺水平和零件精度不能满足机械制造的发展的需求，需要改进和优化。
1、机械制造工艺与加工技术特征分析
分析大理石平板机械制造工艺与加工技术特点，明确二者之间的联系和作用，为加工技术的应用和制造工艺优化奠定基础。
(1)关联性。机械制造工艺与加工之间具有联系，借助加工技术可完成对机械制造工艺的优化，进而推动机械零件的加工质量和加工效率，满足行业发展的需求，规避质量隐患。二者的综合作用，可以推动机械制造企业的发展和进步。
(2)系统性。机械制造工艺可以将诸多现代技术综合利用，的对工艺的各个流程进行优化，机械制造工艺中的加工技术和高大理石平台的应用，有助于推动机械制造成为一个完成的系统，继而推动机械制造的整体质量。
(3)竟争性。经济一体化影响，使得机械制造工艺与技术受到市场的影响较为明显，进而优化的机械制造工艺与的技术有助于的推动制造企业提升产质量、生产效率，并降低生产成本，进而推动机械制造企业市场份额提升。
2、机械制造工艺分析
现阶段，机械制造工艺复杂且逐渐借助信息技术，对提升工艺效率和工艺质量具有积极的作用。且需对不断优化的机械制造工艺展开解读，具体的制造工艺如下。
(1)气体保护焊接工艺。焊接工艺是机械制造工艺中的重要部分，为了避免焊接过程中，外界因素的影响，选择气体保护焊接工，可以起到熔池和电壶与空气的分离，进而焊接质量。通常情况下，考虑效益因素，可以选择CO2气体保护焊的方式，的完成对焊接物的保护，积极推动机械加工质量的提升。
(2)搅拌摩擦焊焊接工艺。同样属于焊接工艺，且常用于大型生产线中，实现汽车、飞行器等的制造。且经过长期的实践研究，搅拌摩擦焊焊接工艺的完善和改进，可以很为的应用到诸多中。目前，搅拌摩擦焊焊接工艺具有材料消耗少，所需焊接温度较低的特点，具有较高的应用价值。
(3)电阻焊工艺。这类工艺的具体实施中，将两个目标焊接件置于电极之间，借助焊接电流，实现对两个目标焊接件的接触区域的加热，且达到熔点后，目标焊接件表面的金属原子分离，并形成金属键，再由金属键的相互作用，完成焊接的目的。这类焊接方式焊接过程简单，焊接成本、低。
(4)埋弧焊工艺。焊剂层与电弧的综合作用，完成对零件的焊接。现阶段，主要选择自动埋弧焊的方式。这类焊接工艺具、焊接质量稳定的方式，且不会造成弧光与烟尘的特点。
具体的机械制造工艺中，需要结合具体的焊接需求，完成对机械制造工艺的选择，从而机械制造工艺的应用，降低质量隐患。